紫外激光标刻机采用Nd：YVO4紫外激光器研发而成，该机采用三阶腔内倍频技术。同红外激光比较，紫外光聚焦光斑极小，能在很大程度上降低材料的机械变形且加工热影响小，主要用于超精细雕刻、标识，特别适合用于食品、医药、包装材料标刻、打微孔、玻璃、硅片晶圆的高速划切...