² 设备简介采用飞秒激光脉冲技术，可对各种材料的精密微型钻孔、切割以及划槽等微加工；具有加工精度高、基本无热影响区域、加工边缘无毛刺和残渣等优点。目前已在金属、半导体、陶瓷、玻璃及塑料高分子材料上进行了成功应用；该设备加工精度高，长期稳定性好，是精...