科涵KH30系列复合光束扫描头专为Nd: YAG超快激光加工所设计，该模块通过偏转模块及横向位移模块的同步高速转动，实现对激光加工光束轨迹的控制。该模块可实现正锥孔、圆柱孔、倒锥孔、各种异形孔及三维形状的加工，且孔的锥度可调。其性能优良、工作稳定，采用模块化的设计理念，可以根据不同工艺和环境要求来灵活配置系统，且易于维护、使用更加灵活。

参数名称	技术指标
最大激光功率	皮秒级以上超快激光不超过75W
波长	1064nm\532nm\355nm可选
焦距	80mm/100mm/150mm/200mm……
有效通光口径	18mm
工作距离	可定制
扫描分辨率	≤0.5um
扫描范围	50~1500um@f=100mm，可定制
扫描精度	±5um
扫描速度	可到达3000rpm
外形尺寸H/W/D	410/400/220mm
重量	25Kg
工作环境	普通环境