采用飞秒激光脉冲技术，可对各种材料的精密微型钻孔、切割以及划槽等微加工；具有加工精度高、基本无热影响区域、加工边缘无毛刺和残渣等优点。目前已在金属、半导体、陶瓷、玻璃及塑料高分子材料上进行了成功应用；该设备加工精度高，长期稳定性好，是精密微加工领域的理想加工工具。
加工能力
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设备性能
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激光波长
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1030nm/515nm/335nm可选
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脉冲宽度
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230fS
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平均功率
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15W
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最小加工孔径
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50μm
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最小加工线宽
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10μm
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最大加工径深比
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1:15
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加工精度
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<±5μm
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钻孔形态
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打孔锥度、角度均可调
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样件展示
(a)陶瓷材料 (b)合金材料 (c)圆柱形孔内壁SEM图
² 联系方式：
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